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ワイヤボンディング検査装置

ワイヤボンディング検査装置
  • 概要
  • 仕様

基本情報

名称:ワイヤボンディング検査装置

本装置は、ワイヤボンディング工程で必要とされる検査の自動化・効率化を実現する外観検査装置です。

特長

1.高性能3D計測
合焦点法による3D計測機能を搭載。他の3D計測手法に比べ、傾斜面や微細構造の計測に強いのが特徴で、誤検知の少ない外観検査が実現できます。

2.寸法計測による高信頼性検査
ワイヤ最高点高さ、ボンド幅など、約20種類の寸法計測が可能。各箇所の寸法に規格範囲を設定し、規格範囲を外れた場合に、不合格判定とすることができます。

3.トレーサビリティ対応
ワークにマーキングされた2Dコードを読み取り、検査結果と共に上位サーバーへ送ることにより、トレーサビリティ環境の構築が可能です。各計測結果を分析することにより、組み立てのばらつきや、傾向を把握することができ、上流工程の改善に役立てることができます。

4.簡単操作
検査を実施する品種名を選択して、検査開始を指示するだけで、簡単に検査を実施することができます。ローダー/アンローダーにより、ワークの自動供給/自動排出が可能です。

基本仕様

検査項目
ボンディング形状、ワイヤループ形状、クリップ姿勢、チップ姿勢、異物、ハンダ流れ、他
対応ボンディング種別
ウェッジ、ボール、クリップ
対応ワイヤ径
50~500um  (17~50um開発中)
計測繰り返し精度(3σ)
垂直方向: 2.0um
対応ワークサイズ
高さ4.5mm以下
min: 幅20mm × 長さ100mm
max: 幅100mm × 長さ300mm
電源
200-240VAC、50/60Hz、20A
圧縮エアー
0.4MP以上、50L/min以上
真空源
-66.7kPa以下、100L/min以上
外形寸法
W:1,735mm × D:957mm × H:1,700mm
(シグナルタワー含まず)
重量
約900kg
外部ポート
LAN、USB3.0×2ポート

オプション

コードリーダー
QRコード、DataMatrix
トレーサビリティ機能
外部サーバーへの検査履歴自動送信
リジェクト機能
NG検出時のリジェクトポジションへの移動