ダイソーターBESTEM‐S500

- 概要
- 仕様
基本情報
モデル名:BESTEM‐S500
ダイシングされたウエハーより良品ダイのみをピックアップし、
トレイに整列・収納します。
特長
1.MEMSからIGBT、CMOSセンサーまで対応実績豊富
2.高精度ソーティング XY:±38μm(3σ)
3.チェンジキットにより6、8、12インチウエハーに対応
4.独自開発のニードルレスピックアップ技術(オプション)による薄厚ダイ対応
基本仕様
- ウエハーサイズ
- □6 / 8 / 12 インチ
- チップサイズ
- □1.5~25㎜
- 搬送可能トレイサイズ
- □2/3/4 インチ
- 配列精度
- XY:±38µm(3σ)
- 装置サイズ
- (W) 2,060 × (D) 1,525 × (H) 1,680mm
- 重量
- 約1,600 kg