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ダイソーター
BESTEM‐S500

ダイソーター BESTEM‐S500
  • 概要
  • 仕様

基本情報

モデル名:BESTEM‐S500

ダイシングされたウエハーより良品ダイのみをピックアップし、
トレイに整列・収納します。

特長

1.MEMSからIGBT、CMOSセンサーまで対応実績豊富

2.高精度ソーティング XY:±38μm(3σ)

3.チェンジキットにより6、8、12インチウエハーに対応

4.独自開発のニードルレスピックアップ技術(オプション)による薄厚ダイ対応

基本仕様

ウエハーサイズ
□6 / 8 / 12 インチ
チップサイズ
□1.5~25㎜
搬送可能トレイサイズ
□2/3/4 インチ
配列精度
XY:±38µm(3σ)
装置サイズ
(W) 2,060 × (D) 1,525 × (H) 1,680mm
重量
約1,600 kg