インラインキュア炉BCOS- IV
- 概要
- 仕様
基本情報
モデル名:BCOS- IV
コンパクト設計で、ダイボンダーCPS-100シリーズと容易にドッキング可能です。キュア付ダイボンダーとして、またワイヤーボンダーを含めたインラインシステムとして、様々なバリエーションが考えられます。
特長
1.ヒーターブロックからの輻射熱及び直接加熱と、チャンバーからのホットN2ダウンフロー加熱による均一加熱を実現し、自由に最適な温度プロファイルが得られます。
2.Agペーストアウトガスの機外排出によるクリーンキュアを実現し、同時に外気のO2を遮断することで、Cuフレームにも対応が可能となっています。
3.リードフレームの品種対応はマニュアルとなります。
基本仕様
- 温度範囲
- RT ~ 400℃
- サイクルタイム
- 6 sec × 8 step MIN.
- キュアリングタイム
- 6 sec × 8 step MIN.
- リードフレームサイズ
- 120 (L) × 16 (W) mm MIN. 260 (L) × 51 (W) mm MAX.
- リードフレーム設定
- 10種類登録可
- 温度設定
- 8種類登録可
- 装置サイズ
- (W) 720 × (D) 1,000 × (H) 1,544 mm